近日，半導體真空裝備制造商浙江生波智能裝備有限公司（以下簡稱“生波智能”）宣布完成億元JA輪融資，由國芯創投L投，派諾資本及產業資方跟投。

本輪融資將用于半導體先進工藝制程設備的研發、安徽滁州明光“半導體大型真空鍍膜設備項目”制造基地建設、擴充企業產能等，并進一步保持及增強“生波智能”在半導體及光電顯示行業的技術優勢。

生波智能及其前身公司已有超過10年發展歷史，由G文波、李朝暉等一批從事半導體、光電顯示L域真空鍍膜技術和工藝以及相關核心設備研發的行業L軍人共同創立。

目前，公司在等離子體源、PECVD源、PVD源等多種核心源部件擁有自主研發、制造能力，可以替代美國應用材料、日本愛發科、德國馮·阿登納等海外巨頭的部分同類產品。公司通過中G端設備的研發及專項設備的定制，為客戶提供新工藝開發、新裝備研制、大規模量產型生產線制造與交付以及長期技術支持、維保等全方面、一體化地解決方案。

生波智能產品體系豐富，廣泛應用于半導體、平板顯示、航天科技、深空探測、新材料封裝等L域。據介紹，在航天科技L域，生波智能是國內一家突破海外技術封鎖，為空間站表面有機材料提供航空J防護鍍膜設備的企業。 產業布局方面，生波智能已擁有海寧、中山、深圳、洛陽四大研發和生產基地，形成華北、華東、華南三角形布局網絡。

業務方面，與航天部五院、士蘭微電子、京東方、天馬、維信諾、萊寶G科、長信科技、新創元等半導體、光電顯示、電子電路、航空航天等L域知名客戶達成戰略合作。其中，與國內半導體設備龍頭企業北方華創聯合研發多款半導體用PECVD設備，逐步打破歐美在G端裝備L域的封鎖格局。

生波智能表示，本輪融資之后，生波智能將在集成電路和泛半導體裝備L域持續發力，集成電路裝備面向邏輯、存儲、功率、先進封裝等多L域拓展，PVD、PECVD、PTFE等多款新產品進入主流客戶，并在“突破卡脖子、推進國產化”的道路上繼續前行。